磁控離子濺射儀 型號(hào):XZ1-SBC-16

主要適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品的鍍膜,
適用于不耐高溫的樣品，無熱損傷;也可適用于電極，金屬鍍膜等。

磁控離子濺射儀 型號(hào):XZ1-SBC-16

技術(shù)參數(shù)
靶材 適合Au,Au/Pd,Pt,Pt/Pd
工作腔室：
內(nèi)徑105mmx120mm
樣品臺(tái)(可定制)：
可以裝載12個(gè)SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為60mm
旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺(tái)(選配)
抽氣速率：1L/s
極-限真空：5*10的負(fù)2次方Pa
工作氣體：空氣或氬氣
配置清單：
靶材(金或者鉑)，機(jī)械泵，玻璃罩，油霧過濾器各-個(gè)

磁控離子濺射儀 型號(hào):XZ1-SBC-16

主要適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品的鍍膜,
適用于不耐高溫的樣品，無熱損傷;也可適用于電極，金屬鍍膜等。

磁控離子濺射儀 型號(hào):XZ1-SBC-16

技術(shù)參數(shù)
靶材 適合Au,Au/Pd,Pt,Pt/Pd
工作腔室：
內(nèi)徑105mmx120mm
樣品臺(tái)(可定制)：
可以裝載12個(gè)SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為60mm
旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺(tái)(選配)
抽氣速率：1L/s
極-限真空：5*10的負(fù)2次方Pa
工作氣體：空氣或氬氣
配置清單：
靶材(金或者鉑)，機(jī)械泵，玻璃罩，油霧過濾器各-個(gè)